반도체 Fab에서는 왜 아직 AMR이 주류가 되지 못할까?

결론부터 말하면 기술 부족 때문이 아니라, 환경이 허락하지 않기 때문이다.

반도체 Fab은 일반 제조 공장과 완전히 다른 제약 조건을 가진다.

1️⃣ 정밀도: “대충”이 허용되지 않는다

Fab에서 다루는 것은 300mm 웨이퍼.

• 위치 오차 허용 범위: ±1~2mm 이하
• FOUP 도킹 정렬 오차: 수 mm 이내
• 장비 인터락 실패 = 생산 중단

AMR은 SLAM 기반이다.
LiDAR, 카메라, 맵 기반 위치 추정.

하지만 Fab은:

• 동일한 구조 반복
• 반사 표면 다수
• 파티클 제어 환경
• 마킹·비콘 설치 제한

→ 센서 기반 자율주행 환경이 불리하다.

반면 OHT/AGV는 고정 레일 기반이라
정위치 정확도가 구조적으로 보장된다.

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2️⃣ Traffic Density: 밀도가 다르다

선단 Fab 기준:

• 하루 이동 횟수: 수십만 회
• 1 lot당 이동: 300~500회 이상
• Peak 시간대 동시 이동 차량: 수백 대

이 상황에서 완전 분산형 AMR이
동적으로 경로를 생성하면?

• 교차점 충돌 리스크 증가
• Deadlock 가능성
• Traffic wave 발생

Fab은 예측 가능성(Predictability) 이 핵심이다.

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3️⃣ Cleanroom 제약

Fab은 Class 1~10 수준.

AMR은:

• 하부 구동부 노출
• 회전 바퀴 마찰
• 공기 흐름 교란 가능성

OHT는 천장 레일 기반이기 때문에
파티클 관리가 구조적으로 유리하다.

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4️⃣ 시스템 통합 문제

Fab은 이미 다음과 강하게 연결되어 있다:

• MES
• AMHS
• Stocker
• Tool Interlock

기존 AMHS는 중앙 집중 제어 기반.

AMR은 분산형 제어 철학이다.

→ 철학 자체가 다르다.

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5️⃣ ROI 관점

Fab의 특징:

• 레이아웃 변경 거의 없음
• 공정 루프 반복적
• 설비 수천억 투자 규모

이 환경에서
유연성의 가치는 낮고
안정성의 가치는 높다.

AMR의 강점(유연성)은
Fab에서 크게 매력적이지 않다.

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6️⃣ 그렇다면 미래도 불가능한가?

완전 대체는 어렵다.

하지만 가능성은 있다:

• Bay 내부 단거리 이송
• Sub-fab 보조 물류
• 유지보수 자재 운반
• Hybrid Traffic Management

특히 AI 기반 Traffic Control과 결합하면
AMR 일부 구간 적용은 가능하다.

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핵심 정리

Fab에서 AMR이 주류가 되지 못하는 이유는:

정확도
예측성
청정도
통합 구조

이 네 가지 때문이다.

기술이 부족해서가 아니다.
환경이 엄격하기 때문이다.

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여기서 기회는:

• 완전 AMR 도입이 아니라
• Hybrid 최적화 설계

이다.